Описано надтонкий ємнісний датчик тиску з високою чутливістю до тиску понад 150аФ/Па та малим розміром 1,0 мм × 1,0 мм × 60 мкм. Датчик може виявляти зміни атмосферного тиску з роздільною здатністю 0,025% в діапазоні тиску +/- 3,5 кПа. Датчик відрізняється від інших тим, що використовує ємнісний діелектричний конденсатор, який герметично ущільнений в зазорі та електрично ізольований, але механічно зв'язаний з діафрагмою, що вимірює тиск. Це дозволяє отримати великий динамічний діапазон та високу чутливість до тиску. Також датчик імунний до середовища вимірювання та електромагнітних перешкод. Досліджені та охарактеризовані датчики тиску, з яких два мають діаметр рухомої пластини 150 мкм та різний діаметр діафрагми. Датчик з діаметром діафрагми 90 мкм має чутливість до тиску понад 10аФ/Па в низькому діапазоні тиску та 150аФ/Па високому діапазоні тиску, а датчик з діаметром діафрагми 100 мкм має чутливість до тиску до 260аФ/Па високому діапазоні тиску. Описаний датчик може дати змогу значно розширити дизайн простору датчиків тиску та розв'язати багато задач в забезпеченні високої продуктивності.